



qm球盟会光學成立於(yu) 2024年,是一家專(zhuan) 注於(yu) 半導體(ti) 顯微成像技術研發的科技型企業(ye) 。公司由中科慧儀(yi) 、沃德普、奧特光學聯合成立,匯聚了高速成像與(yu) 光電領域的領軍(jun) 科學家、尖端科研人員及經驗豐(feng) 富的行業(ye) 專(zhuan) 家,核心成員擁有20年以上光學設計和加工經驗。
公司產(chan) 品的核心組件:鏡筒、物鏡、照明、對焦、Z軸及切換器全部自主研發生產(chan) ,全供應鏈、全棧技術自主可控。
qm球盟会光學始終將技術創新視為(wei) 企業(ye) 發展的核心,不斷探索前沿技術,致力於(yu) 為(wei) 客戶呈現細節清晰、特征鮮明的高品質圖像。
技術創新與(yu) 差異化 | 精準定位市場需求 | 全流程效率優(you) 化
深入了解客戶需求 | 提供專(zhuan) 業(ye) 的建議和設計方案 | 提供優(you) 質的售後服務
嚴(yan) 格的質量管理體(ti) 係 | 對產(chan) 品進行持續改進 | 產(chan) 品多重測試
大視野鏡筒,最大支持像方40mm, 完美適配8K/5um 和65M相機
高分辨率鏡筒,物方最高分辨率可達0.4um
可選配同軸激光追焦係統,實現對高速運動成像實時對焦
可選配高速圖像對焦係統,解決(jue) 複雜背景情況下激光無法準確聚焦的問題
同軸科勒照明,外接點光纖及高亮冷光源,可支持麵陣相機曝光時間5us以內(nei)
推拉式高精度切換器也可支持像方40mm 大視野
可定製暗場照明角度,適應不同應用場景
晶圓表麵的缺陷(如劃痕、汙漬、裂紋)和內(nei) 部細微結構(如電路布局、晶體(ti) 管)的檢測要求達到微米甚至亞(ya) 微米級的分辨率。傳(chuan) 統顯微係統因景深不足、視野受限等問題,難以滿足高速運動下的穩定對焦需求。
自動對焦顯微係統通過激光技術實時追蹤晶圓表麵的高度變化,並調整物鏡焦距,確保圖像始終清晰。
晶圓在製造過程中可能出現幾百微米的形變,而傳(chuan) 統物鏡的最小景深可能小於(yu) 1微米,導致高速成像時失焦。自動對焦係統(如“鴻鵠”係統)通過同軸激光追焦和5kHz脈衝(chong) 信號,實時調整Z軸位置,在高速運動中保持對焦穩定性,大幅提升檢測效率。
此外,大視野顯微係統適配高分辨率相機(如8K線陣相機),減少掃描次數,進一步縮短檢測時間。
晶圓材質脆弱,傳(chuan) 統接觸式檢測可能引入損傷(shang) 或汙染。激光自動對焦係統通過非接觸方式完成檢測,避免物理接觸帶來的風險,同時兼容可見光與(yu) 短波紅外成像,適應多種檢測場景。
光刻是半導體(ti) 製造的關(guan) 鍵步驟,自動對焦係統可實時監控圖案的準確性和一致性。
現代自動對焦係統(如“鴻鵠”)采用模塊化設計,支持可見光、紅外成像及偏光/DIC模式,可根據需求快速組裝樣機。例如,兼容400-1300nm波段的顯微係統,可同時滿足常規檢測和特殊材料分析需求。
自動對焦顯微係統通過 高精度追蹤、非接觸式檢測、高速響應 和 多場景兼容性,成為(wei) 晶圓檢測不可或缺的技術。它不僅(jin) 提升了缺陷識別效率和工藝穩定性,還降低了生產(chan) 成本與(yu) 不良品率,是半導體(ti) 製造邁向智能化、自動化的關(guan) 鍵工具。
聯係人:梁小姐
電話:13922529843
公司郵箱:info@houankeji.com
人力資源:info@houankeji.com
東(dong) 莞公司:廣東(dong) 省東(dong) 莞市南城區新基路新基地產(chan) 業(ye) 園3期-4棟113室
北京公司:北京市海澱區中關(guan) 村東(dong) 升科技園北領地B2樓3層A301
蘇州公司:江蘇省蘇州市工業(ye) 園區婁陽路金宸科創園415室
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