類型 |
靜態精度 |
重複定位精度 |
切換速度 |
支持物鏡孔數 |
支持物鏡倍率 |
通訊方式 |
|
直線式 |
高精度版本 |
±50nm |
±0.2um |
60-100mm/s |
2-7孔 |
2-50X |
RS232 |
防抖動版本 |
±25nm |
±0.15um |
60-100mm/s |
2-7孔 |
2-100X |
不能為(wei) 空
手機號格式不對
不能為(wei) 空
不能為(wei) 空