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整體式Z軸

負載不超過9kg可以選用整體(ti) 式Z軸

高精度滑台±0.5um

行程±25mm

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類型	型號	總體(ti) 負載	行程	精度	特點
整體(ti) 式Z軸	IMH-ZZ-100D	小於(yu) 18KG	±30mm	±0.2um	Z軸帶整套係統對焦
整體(ti) 式Z軸	IMH-ZZ-1A	小於(yu) 9KG	±25mm	±0.5um	Z軸帶整套係統對焦

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