有圖晶圓

有圖晶圓

有圖晶圓-髒汙檢測

客戶需求

 

需要檢測出有圖晶圓上的細小髒汙

 

方案選型

 

觀察方式：明場
鏡筒：大視野鏡筒（像方40mm）
鏡頭：10X大視野物鏡
光源：LED點光源

 

技術難點

 

難點：需要高效率的掃描方式
解決(jue) 方案：使用大視野鏡筒配合線掃的方式

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