碳化矽SiC

碳化矽SiC

碳化矽-移位缺陷

客戶需求

 

需要檢測出碳化矽上的移位缺陷

方案選型

 

觀察方式：明場
鏡筒：高清鏡筒（像方28mm）
鏡頭：20X高分辨率物鏡
光源：LED點光源

 

技術難點

 

難點：缺陷比較小，需要較高的解析力
解決(jue) 方案：使用高清鏡筒

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