碳化矽SiC

碳化矽SiC

碳化矽-三角形缺陷

客戶需求

 

需要檢測出碳化矽上的三角形缺陷

 

方案選型

 

觀察方式：暗場
鏡筒：高清鏡筒（像方28mm）
鏡頭：10X高分辨率物鏡
光源：PL

 

技術難點

 

難點：缺陷需要在特殊光源下才能觀察到
解決(jue) 方案：使用PL光源

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